技术规格
| 参数/型号 | SCI04020 | |
| 控制器 | SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B | |
| 夹具型号 | SCI-01 | |
| 光斑大小 | 16μm | 32μm |
| 工作距离 | 40mm | |
| 测量范围 | 4mm | |
| 分辨率 | 0.006μm | |
| 直线性 | ±0.8μm | |
| 角度特性 | ±20° | |
| 最小可测量透明物体厚度 | 130μm | |
| 直径 | 39mm | |
| 长度 | 105.27mm | |
| 重量 | 260g | |
| 参数/型号 | SCI04020 | |
| 控制器 | SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B | |
| 夹具型号 | SCI-01 | |
| 光斑大小 | 16μm | 32μm |
| 工作距离 | 40mm | |
| 测量范围 | 4mm | |
| 分辨率 | 0.006μm | |
| 直线性 | ±0.8μm | |
| 角度特性 | ±20° | |
| 最小可测量透明物体厚度 | 130μm | |
| 直径 | 39mm | |
| 长度 | 105.27mm | |
| 重量 | 260g | |