技术规格
| 参数/型号 | SCI00532 | |
| 控制器 | SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B | |
| 夹具型号 | SCI-01 | |
| 光斑大小 | 7μm | 14μm |
| 工作距离 | 25mm | |
| 测量范围 | 0.5mm | |
| 分辨率 | 0.006μm | |
| 直线性 | ±0.2μm | |
| 角度特性 | ±32° | |
| 最小可测量透明物体厚度 | 20μm | |
| 直径 | 53mm | |
| 长度 | 159.7mm | |
| 重量 | 535g | |
| 参数/型号 | SCI00532 | |
| 控制器 | SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B | |
| 夹具型号 | SCI-01 | |
| 光斑大小 | 7μm | 14μm |
| 工作距离 | 25mm | |
| 测量范围 | 0.5mm | |
| 分辨率 | 0.006μm | |
| 直线性 | ±0.2μm | |
| 角度特性 | ±32° | |
| 最小可测量透明物体厚度 | 20μm | |
| 直径 | 53mm | |
| 长度 | 159.7mm | |
| 重量 | 535g | |